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本文標題:掃描電子顯微鏡工作距離與歷史

信息分類:站內新聞　新聞來源：未知發布時間：2014-4-10 10:05:38

掃描電子顯微鏡工作距離與歷史

掃描電子顯微鏡工作距離指從物鏡到樣品最高點的垂直距離。增加距

離可以在條件不變的情況下獲得更大的場深。減少距離則可以在其不

變的情況下獲得更高的分辨率。

成象次級電子和背散射電子可以用于成象，但后者不如前者，所以通

常使用次級電子。表面分析歐革電子、特征X射線、背散射電子的產

過程均與樣品原子性質有關，所以可以用于成分分析。但由于電子束

只能穿透樣品表面很淺的一層（，所以只能用于表面分析。

表面分析以特征射線常用到的探測器有兩種：能譜分析儀與波譜分析

儀。前者速度快精度不高，后者精確檢測到痕跡元素但耗時太長。

1929 年諾貝爾物理獎得主提出電子本身具有波動的物理特性，進一

步提供電子顯微鏡的理論基礎。1926發現電子可像光線經過玻璃透鏡

偏折一般，由電磁場的改變而偏折。

1931德國物理學家首先發展出穿透式電子顯微鏡原型機。1937原型機

制造成功。 1938 第一部掃描電子顯微鏡發展成功。1938穿透式電子

顯微鏡正式上市

1940推出美國第一部穿透式電子顯微鏡。1958年中國科學院組織研制

， 1975年第一臺掃描電子顯微鏡在中國科學院科研發成功。1980年

引進美國技術，開發了掃描電鏡。