本文標題:場發射掃描電子顯微鏡的用途
信息分類:站內新聞 新聞來源：未知 發布時間：2014-4-28 15:52:48
場發射掃描電子顯微鏡的用途
場發射掃描電子顯微鏡的主要用途該儀器具有超高分辨率，能做各種
固態樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理。
場發射掃描電子顯微鏡的 具有高性能x射線能譜儀，能同時進行樣品
表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學
組分綜合分析能力。
場發射掃描電子顯微鏡的儀器類別儀器儀表、光學儀器 、電子光學
及離子光學儀器
場發射掃描電子顯微鏡的指標信息二次電子象分辨率加速電壓放大倍
數，萬倍連續可調工作距離連續可調傾斜射線能譜儀。分辨率分析范
圍鍍金鍍炭儀、圖像處理系統背散射探頭。
場發射掃描電鏡由于分辨率高，為納米材料的研究提供了可靠的實驗
手段。
場發射掃描電子顯微鏡對半導體材料和絕緣體，都能得到滿意的圖像
，對超導，磁性，分子延生長的薄膜材料，半導體進行了形貌觀察，
并對進行了微區成份分析。
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